Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung eines Artikels und damit erzeugter Artikel

EP1396759 Art A3 2. August 2006

Anmelder: ASML Netherlands B.V., ASML Netherlands BV 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1396759
Aktenzeichen
EP03255297
Anmeldetag
27. August 2003
Veröffentlichung
2. August 2006
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ASML Netherlands B.V.
ASML Netherlands BV
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

5.380 Patente in unserer Datenbank

🇳🇱 ASML Netherlands

ASML Netherlands B.V. ist die niederländische Kernsparte des weltweit führenden Herstellers von Lithografiesystemen für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Veldhoven. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Optik und Fototechnik, ergänzt um Elektronik, elektrische Energietechnik und Halbleiterbauelemente. Anmeldungen reichen von 2000 bis 2020.

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