Handhabungsvorrichtung für Substrathalter, die den Substrathalter direkt von einem sich bewegenden Fördermittel entlädt
EP1396874
Art A3
12. Januar 2005
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1396874
- Aktenzeichen
- EP03255382
- Anmeldetag
- 29. August 2003
- Veröffentlichung
- 12. Januar 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00H01L21/68B65G49/07
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bayliss, Geoffrey Cyril
London, Großbritannien
655
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