Verfahren und Vorrichtung zum Testen oder Kalibrieren eines Drucksensors an einem Wafer
EP1397656
Art B1
6. Mai 2009
Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1397656
- Aktenzeichen
- EP02730292
- Anmeldetag
- 10. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 6. Mai 2009
- Erteilung
- 6. Mai 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L27/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schoppe, Fritz
Pullach, Deutschland
2.765
Patente gesamt
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing
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