Maskenmanipulator und entsprechende Verfahren zum Transport von dünnen und runden, in der Ladungsträgerstrahlmikrolithographie verwendeten Masken
EP1398668
Art A3
10. Dezember 2008
Anmelder: NIKON CORPORATION, Sendai Nikon Corporation, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1398668
- Aktenzeichen
- EP03017868
- Anmeldetag
- 5. August 2003
- Veröffentlichung
- 10. Dezember 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Sendai Nikon Corporation
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
3.320 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Hoarton, Lloyd Douglas Charles
München, Deutschland
1.651
Patente gesamt
34
Fachgebiete
27
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Meddle, Alan Leonard
NoneMünchen