Bildung von Luftspalten
EP1398831
Art A3
20. Februar 2008
Anmelder: Rohm and Haas Electronic Materials LLC, Shipley Co. L.L.C. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1398831
- Aktenzeichen
- EP03255695
- Anmeldetag
- 11. September 2003
- Veröffentlichung
- 20. Februar 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/768H01L21/764H01L23/522H01L23/532
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Rohm and Haas Electronic Materials LLC
Shipley Co. L.L.C. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Rohm and Haas
Ehemaliger US-amerikanischer Spezialchemiekonzern mit Sitz in Philadelphia, unter anderem für Kunststoffe, Beschichtungen und Elektronikchemikalien bekannt. Wurde 2009 von Dow Chemical übernommen.
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