Wellengenerator für ein Mikroabscheidungs-Steuersystem
EP1399269
Art B1
3. November 2010
Anmelder: ULVAC, INC., Litrex Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1399269
- Aktenzeichen
- EP02756113
- Anmeldetag
- 31. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 3. November 2010
- Erteilung
- 3. November 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B05C11/10B41J2/045B41J2/05
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ULVAC, INC.
Litrex Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
ULVAC
Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.
444 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Somnier, Jean-Louis
Levallois-Perret, Frankreich
102
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28
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