System zur Endpunktbestimmung Beim Chemisch-Mechanischen Polieren
EP1399294
Art B1
21. Dezember 2005
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION, LAM Research Corporation 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1399294
- Aktenzeichen
- EP01950481
- Anmeldetag
- 26. Juni 2001
- Veröffentlichung
- 21. Dezember 2005
- Erteilung
- 21. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/14H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- LAM RESEARCH CORPORATION
LAM Research Corporation - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
2.725 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Thomson, Paul Anthony
Birkenhead, Großbritannien
795
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
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Schwerpunkte