Konditioniereinrichtung mit Direkter - und Rückgekoppelter Steuerung zum Konditionieren eines Chemisch-Mechanischen Polierkissens

EP1399295 Art A1 24. März 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1399295
Aktenzeichen
EP02746548
Anmeldetag
17. Juni 2002
Veröffentlichung
24. März 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/04B24B49/18B24B53/007
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Withers & Rogers München, Deutschland

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