Einstufiges Verfahren zur Messung einer Kritischen Dimension und einer Überdeckung
EP1399782
Art A2
24. März 2004
Anmelder: Infineon Technologies AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1399782
- Aktenzeichen
- EP02746553
- Anmeldetag
- 17. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 24. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Infineon Technologies AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Infineon Technologies
Deutscher Halbleiterkonzern mit Sitz in Neubiberg bei München, hervorgegangen aus Siemens. Entwickelt und fertigt Halbleiter und Systemlösungen für Automobil-, Industrie- und Sicherheitsanwendungen.
4.872 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kindermann, Peter
Baldham, Deutschland
362
Patente gesamt
27
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Karl, Frank
NoneBaldham