Dynamisches Mess- und Probenschema zur Fortschrittlichen Halbleiterfertigungskontrolle
EP1399961
Art A2
24. März 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1399961
- Aktenzeichen
- EP02739908
- Anmeldetag
- 17. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 24. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Fachgebiete
Vertreten von
Blatchford, William Michael
London, Großbritannien
143
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