Keramische Elektrostatische Haltevorrichtung und deren Verwendung
EP1399964
Art B1
24. Februar 2010
Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1399964
- Aktenzeichen
- EP02741903
- Anmeldetag
- 10. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 24. Februar 2010
- Erteilung
- 24. Februar 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- LAM RESEARCH CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Lam Research
US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Kemp, Paul Geoffrey
Nice, Frankreich
168
Patente gesamt
30
Fachgebiete
11
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Schwerpunkte
Weitere Vertreter
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Brookes IP · Tunbridge Wells
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Brookes Batchellor LLP · London