Positivresistzusammensetzung des Chemischen Verstärkungstyps, Resistbeschichtetes Material, Verfahren zur Ausbildung einer Resiststruktur und Prozess zur Herstellung eines Halbleiterbauelements
EP1400853
Art A1
24. März 2004
Anmelder: TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD. 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1400853
- Aktenzeichen
- EP02743758
- Anmeldetag
- 28. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 24. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/039H01L21/027
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO OHKA KOGYO CO., LTD.
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Ohka Kogyo
Tokyo Ohka Kogyo (TOK) ist ein japanischer Chemiekonzern, der vor allem Fotolacke und Materialien für die Halbleiterfertigung herstellt. Das Portfolio konzentriert sich entsprechend auf Optik und Fototechnik sowie Halbleiter- und Bauelemente-Technik, ergänzt durch Kunststoff- und organische Chemie. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.
927 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Tanner, James Percival
London, Großbritannien
144
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Fachgebiete
11
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Schwerpunkte