Plasmaverarbeitungseinrichtung und Verfahren zu Ihrer Reinigung
Anmelder: Canon Anelva Corporation, Sanyo Electric Co., Ltd., Renesas Electronics Corporation, Panasonic Corporation, ULVAC, INC., Hitachi Kokusai Electric Inc., TOKYO ELECTRON LIMITED, Kanto Denka Kogyo Co., Ltd., ULVAC, INC, Kanto Denka Kogyo CO., LTD., Renesas Technology Corp., MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD., ANELVA CORPORATION 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1401014
- Aktenzeichen
- EP02728065
- Anmeldetag
- 16. Mai 2002
- Veröffentlichung
- 14. September 2011
- Erteilung
- 14. September 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/31H01L21/3065C23C16/44
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Canon Anelva Corporation
Sanyo Electric Co., Ltd.
Renesas Electronics Corporation
Panasonic Corporation
ULVAC, INC.
Hitachi Kokusai Electric Inc.
TOKYO ELECTRON LIMITED
Kanto Denka Kogyo Co., Ltd.
ULVAC, INC
Kanto Denka Kogyo CO., LTD.
Renesas Technology Corp.
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
ANELVA CORPORATION - Land
- 🇯🇵 Japan
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