Regelung der Linearen Geschwindigkeit eines Abrichtwerkzeugs für ein Chemisch-Mechanisches Polierkissen zur Erhöhung dessen Lebensdauer
EP1401614
Art A1
31. März 2004
Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1401614
- Aktenzeichen
- EP02739901
- Anmeldetag
- 17. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 31. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B24B37/04B24B49/18B24B53/007
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Applied Materials, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
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Vertreten von
Blatchford, William Michael
London, Großbritannien
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