Interferometersystem, Verfahren zum Aufnehmen eines Interferogramms und Verfahren zum Bereitstellen und Herstellen eines Objekts mit einer Soll-Oberfläche
EP1402228
Art A1
31. März 2004
Anmelder: Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1402228
- Aktenzeichen
- EP02735425
- Anmeldetag
- 26. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 31. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01B9/02G01B11/24G01B11/30
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Carl Zeiss SMT AG
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schorr, Frank Jürgen
München, Deutschland
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-
Schorr, Frank, Dr
NoneMünchen