Verwendung von Streulichtmessungen zur Abbildung des Ätzvorganges in Echtzeit
EP1402242
Art B1
3. Juni 2009
Anmelder: ADVANCED MICRO DEVICES, INC., ADVANCED MICRO DEVICES INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1402242
- Aktenzeichen
- EP02707668
- Anmeldetag
- 31. Januar 2002
- Veröffentlichung
- 3. Juni 2009
- Erteilung
- 3. Juni 2009
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N21/47H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- ADVANCED MICRO DEVICES, INC.
ADVANCED MICRO DEVICES INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Advanced Micro Devices
US-amerikanischer Halbleiterhersteller (AMD) mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien, bekannt für Prozessoren, Grafikchips und Server-CPUs.
1.708 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Picker, Madeline Margaret
London, Großbritannien
951
Patente gesamt
26
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte