Verfahren Fur die Erzeugung von Mikro- und Nanostrukturen mit der Imprintlithographie
EP1402317
Art A2
31. März 2004
Anmelder: Micro Resist Technology GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1402317
- Aktenzeichen
- EP02748607
- Anmeldetag
- 28. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 31. März 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Micro Resist Technology GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Bergelt, Klaus
Brandenburg, Deutschland
6
Patente gesamt
6
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte