Dünnschichtbauelement mit einer MnS-Zwischenschicht und sein Herstellungsverfahren
Anmelder: National Institute for Materials Science, Fuji Electric Co., Ltd., Fuji Electric Holdings Co., Ltd., Tokyo Institute of Technology, Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1403911
- Aktenzeichen
- EP03255869
- Anmeldetag
- 19. September 2003
- Veröffentlichung
- 6. November 2013
- Erteilung
- 6. November 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/20H01L21/02C30B25/02C30B23/02H01L29/20H01L29/22H01L29/267
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- National Institute for Materials Science
Fuji Electric Co., Ltd.
Fuji Electric Holdings Co., Ltd.
Tokyo Institute of Technology
Fuji Electric Corporate Research and Development Ltd - Land
- 🇯🇵 Japan
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