Verfahren und Vorrichtung zur Plasmaerzeugung

EP1404889 Art B1 20. Dezember 2017

Anmelder: CemeCon AG, Chemfilt R & D Aktiebolag 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1404889
Aktenzeichen
EP02741573
Anmeldetag
14. Juni 2002
Veröffentlichung
20. Dezember 2017
Erteilung
20. Dezember 2017
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/35H01J37/34H05H1/50
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen
CemeCon AG
Chemfilt R & D Aktiebolag
Land
🇩🇪 Deutschland

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Kalkoff, Ingo Witten, Deutschland
7
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Verfahrens- & Trenntechnik Kunststoff- & Polymertechnik Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen)
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