Vorrichtung und Verfahren zum Harmonisierten Positionieren von Waferscheiben
EP1405334
Art B1
27. November 2013
Anmelder: Brooks-PRI Automation (Switzerland) GmbH 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1405334
- Aktenzeichen
- EP02745028
- Anmeldetag
- 9. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 27. November 2013
- Erteilung
- 27. November 2013
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Brooks-PRI Automation (Switzerland) GmbH
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
Fachgebiete
Vertreten von
Klein, Friedrich
Kaiserslautern, Deutschland
28
Patente gesamt
19
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte