Zusammensetzung zum Polieren von Halbleiterscheiben und Verfahren zur Verwendung derselben

EP1405885 Art A3 24. November 2004

Anmelder: FUJIMI INCORPORATED 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1405885
Aktenzeichen
EP03022116
Anmeldetag
29. September 2003
Veröffentlichung
24. November 2004
Rechtsraum
EP
IPC
C09G1/02C09K3/14H01L21/306H01L21/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FUJIMI INCORPORATED
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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