Wafer-Verarbeitungsvorrichtung und Transfereinrichtungseinstellungssystem

EP1406293 Art A1 7. April 2004

Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED, Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1406293
Aktenzeichen: EP02743874
Anmeldetag: 9. Juli 2002
Veröffentlichung: 7. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/02H01L21/68G06F17/50H01L21/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOKYO ELECTRON LIMITED
Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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