Vorrichtung zur Steuerung des Drucks in einer Prozesskammer und Betriebsverfahren dafür

EP1407148 Art B1 1. Juni 2005

Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1407148
Aktenzeichen
EP03760812
Anmeldetag
20. Juni 2003
Veröffentlichung
1. Juni 2005
Erteilung
1. Juni 2005
Rechtsraum
EP
IPC
F04D19/04F04C29/00G01N15/02G05D16/20C23C16/44H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Edwards Limited
The BOC Group plc
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

524 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik Steuerungs- & Regelungstechnik
Vertreten von
Clark, Charles Robert West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Energie- & Antriebstechnik (Kraftmaschinen) Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik Verfahrens- & Trenntechnik Nachrichtentechnik & Telekommunikation Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
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