Vorrichtung zur Steuerung des Drucks in einer Prozesskammer und Betriebsverfahren dafür
EP1407148
Art B1
1. Juni 2005
Anmelder: Edwards Limited, The BOC Group plc 🇬🇧
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1407148
- Aktenzeichen
- EP03760812
- Anmeldetag
- 20. Juni 2003
- Veröffentlichung
- 1. Juni 2005
- Erteilung
- 1. Juni 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04F04C29/00G01N15/02G05D16/20C23C16/44H01L21/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Edwards Limited
The BOC Group plc - Land
- 🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧
Edwards Limited
Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.
612 Patente in unserer Datenbank
🇬🇧
The BOC Group
The BOC Group war ein britischer Industriegasehersteller und ist heute Teil des Linde-Konzerns. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Energie- und Wärmetechnik, ergänzt durch anorganische Chemie und Metallurgie. Anmeldungen erfolgten von 2000 bis 2012.
468 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Clark, Charles Robert
West, Großbritannien
370
Patente gesamt
23
Fachgebiete
8
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Booth, Andrew Steven
NoneWest