Durchlauf-Beschichtungsanlage

EP1407828 Art A3 5. Dezember 2007

Anmelder: Applied Materials GmbH & Co. KG, Applied Films GmbH & Co. KG 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1407828
Aktenzeichen
EP03008221
Anmeldetag
9. April 2003
Veröffentlichung
5. Dezember 2007
Rechtsraum
EP
IPC
B05B15/12B05C15/00H01L21/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials GmbH & Co. KG
Applied Films GmbH & Co. KG
Land
🇩🇪 Deutschland
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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