Zylindrisches Target für Vakuum-Bogenverdampfung, sowie Herstellungsverfahren und Vorrichtung dafür

EP1408136 Art B1 14. November 2012

Anmelder: KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1408136
Aktenzeichen
EP03021245
Anmeldetag
18. September 2003
Veröffentlichung
14. November 2012
Erteilung
14. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
C23C14/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
KABUSHIKI KAISHA KOBE SEIKO SHO
Land
🇯🇵 Japan

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