Hochdichte-Plasmaverfahren zum Abscheiden einer Siliziumnitridschicht
EP1408140
Art A1
14. April 2004
Anmelder: STMicroelectronics S.r.l., STMicroelectronics Srl 🇮🇹
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1408140
- Aktenzeichen
- EP02425615
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 14. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C30/00C23C28/00C23C14/16
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- STMicroelectronics S.r.l.
STMicroelectronics Srl - Land
- 🇮🇹 Italien
🇮🇹
STMicroelectronics Italy
Italienische Konzerngesellschaft des schweizerisch-französischen Halbleiterherstellers STMicroelectronics. Entwickelt und fertigt Halbleiterkomponenten für Automobil-, Industrie- und Konsumelektronik.
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Fachgebiete
Vertreten von
Bartle, Robin Jonathan
Liverpool, Großbritannien
449
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13
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Weitere Vertreter
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WP Thompson
WP Thompson · Liverpool
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W.P. Thompson & Co
W.P. Thompson & Co · Liverpool
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Pezzoli, Ennio
Maccalli & Pezzoli S.r.l. · Milano