Photomaske, Verfahren zu Ihrer Herstellung und Strukturausbildungsverfahren mit der Photomaske

EP1408373 Art A1 14. April 2004

Anmelder: Panasonic Corporation, MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1408373
Aktenzeichen: EP02788862
Anmeldetag: 24. Dezember 2002
Veröffentlichung: 14. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/08H01L21/027

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Panasonic Corporation
MATSUSHITA ELECTRIC INDUSTRIAL CO., LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Panasonic

Japanischer Konzern, der Haushaltsgeräte, Unterhaltungselektronik, Batterien sowie Komponenten und Lösungen für Industrie und Automobilbau entwickelt und herstellt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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