CVD-Vorrichtung mit Heizelement

EP1408535 Art A3 15. Dezember 2004

Anmelder: ANELVA CORPORATION, Japan Advanced Institute of Science and Technology 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1408535
Aktenzeichen
EP03256254
Anmeldetag
3. Oktober 2003
Veröffentlichung
15. Dezember 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/00C23C16/44C23C16/24C23C16/34
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
ANELVA CORPORATION
Japan Advanced Institute of Science and Technology
Land
🇯🇵 Japan

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik
Vertreten von
Lyndon-Stanford, Edward W.B London, Großbritannien
29
Patente gesamt
19
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Metallurgie & Oberflächentechnik Medizintechnik & Gesundheit Halbleiter & Elektrische Bauelemente Maschinenelemente & Fluidtechnik Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Landwirtschaft & Nahrungsmitteltechnik
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