Hafniumsilizidtarget zur Bildung eines Gateoxidfilms und Verfahren zu Seiner Herstellung

EP1408541 Art B1 28. November 2012

Anmelder: JX Nippon Mining & Metals Corporation, Nippon Mining & Metals Co., Ltd., Nikko Materials Co., Ltd., Nikko Materials Company, Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1408541
Aktenzeichen
EP02733313
Anmeldetag
5. Juni 2002
Veröffentlichung
28. November 2012
Erteilung
28. November 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/336
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
JX Nippon Mining & Metals Corporation
Nippon Mining & Metals Co., Ltd.
Nikko Materials Co., Ltd.
Nikko Materials Company, Limited
Land
🇯🇵 Japan

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