Filmdickenmessüberwachungswafer
EP1408544
Art B1
24. August 2011
Anmelder: Mitsui Engineering and Shipbuilding Co, Ltd., Admap, Inc., MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1408544
- Aktenzeichen
- EP02701695
- Anmeldetag
- 4. März 2002
- Veröffentlichung
- 24. August 2011
- Erteilung
- 24. August 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Mitsui Engineering and Shipbuilding Co, Ltd.
Admap, Inc.
MITSUI ENGINEERING & SHIPBUILDING CO., LTD - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Mitsui Engineering & Shipbuilding
Mitsui Engineering & Shipbuilding ist ein japanischer Schiffbau- und Maschinenbaukonzern, der heute Teil von Mitsui E&S ist. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Fahrzeugtechnik für Schiffe, ergänzt durch Halbleiter-, Antriebs- und Fördertechnik. Die Anmeldungen stammen aus den Jahren 2000 bis 2018.
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