Verfahren zur Herstellung eines Substrats durch den Transfer eines Geber-Wafers mit Fremdatomen, und ein entsprechender Geber-Wafer
EP1408545
Art B1
11. August 2010
Anmelder: S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies, Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives, Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives, COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1408545
- Aktenzeichen
- EP03292465
- Anmeldetag
- 7. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 11. August 2010
- Erteilung
- 11. August 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/762
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- S.O.I. Tec Silicon on Insulator Technologies
Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE - Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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