Verfahren und Vorrichtung zur Plasmagestützten Abscheidung in einem Vakuum
EP1409762
Art A1
21. April 2004
Anmelder: UNIVERSITY OF VIRGINIA PATENT FOUNDATION, Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1409762
- Aktenzeichen
- EP01939337
- Anmeldetag
- 23. Mai 2001
- Veröffentlichung
- 21. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C14/28C23C14/30C23C14/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- UNIVERSITY OF VIRGINIA PATENT FOUNDATION
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
University of Virginia Patent Foundation
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🇩🇪
Fraunhofer-Gesellschaft
Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.
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Fachgebiete
Vertreten von
Schubert, Helmut
München, Deutschland
12
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8
Fachgebiete
2
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