Vermeidung der Schrumpfung von Linienenden bei Transistoren durch Zusätzliche Phasenschiebermuster

EP1410105 Art B1 2. Mai 2012

Anmelder: Synopsys, Inc., Synopsys Merger Holdings LLC, Numerical Technologies Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1410105
Aktenzeichen
EP02709485
Anmeldetag
11. Februar 2002
Veröffentlichung
2. Mai 2012
Erteilung
2. Mai 2012
Rechtsraum
EP
IPC
G03F1/30G03F1/36H01L21/28
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Synopsys, Inc.
Synopsys Merger Holdings LLC
Numerical Technologies Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Synopsys

Synopsys ist ein US-amerikanischer Anbieter von Software für den Chip- und Systementwurf (EDA) mit Sitz in Kalifornien. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Software und Datenverarbeitung sowie Halbleiter und elektrische Bauelemente, ergänzt durch Optik und Elektronik für Entwurfswerkzeuge. Anmeldungen reichen von 2000 bis in die Gegenwart.

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