Echtzeitanalyse Periodischer Strukturen auf Halbleitern
EP1410110
Art B1
12. Mai 2010
Anmelder: KLA-Tencor Corporation, Therma-Wave, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1410110
- Aktenzeichen
- EP02746544
- Anmeldetag
- 17. Juni 2002
- Veröffentlichung
- 12. Mai 2010
- Erteilung
- 12. Mai 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- KLA-Tencor Corporation
Therma-Wave, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
495 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Jackson, David Spence
London, Großbritannien
226
Patente gesamt
25
Fachgebiete
9
Anmelder-Länder
Schwerpunkte