Schlitzlinsenanordnung Fur Teilchenstrahlen
EP1410416
Art B1
14. Dezember 2005
Anmelder: Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH, Carl Zeiss SMT AG 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1410416
- Aktenzeichen
- EP02754429
- Anmeldetag
- 24. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 14. Dezember 2005
- Erteilung
- 14. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Ceos Corrected Electron Optical Systems GmbH
Carl Zeiss SMT AG - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Carl Zeiss SMT
Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.
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Fachgebiete
Kanzlei
Pöhner Scharfenberger
Würzburg, Deutschland
Patent- und Rechtsanwaltskanzlei (Marke MAINPAT) in Würzburg, betreut Patente, Gebrauchsmuster, Marken und Designs für nationale und internationale Mandanten, Schwerpunkte in Physik, Elektrotechnik, Mechanik, Bauwesen, Biologie und Chemie.
322
Patente gesamt
2
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Pöhner, Wilfried, Dr
NoneWürzburg