Verfahren und Vorrichtung für Mikrojet Aktivierte, Niederenergetische Ionen-Erzeugung und -Transport in der Plasmabehandlung
EP1410418
Art B1
31. März 2010
Anmelder: Axcelis Technologies, Inc., Axcelis Technologies Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1410418
- Aktenzeichen
- EP02753406
- Anmeldetag
- 12. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 31. März 2010
- Erteilung
- 31. März 2010
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/311
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Axcelis Technologies, Inc.
Axcelis Technologies Inc. - Land
- 🇺🇸 USA
Fachgebiete
Vertreten von
Jenkins, Richard Gray
London, Großbritannien
9
Patente gesamt
6
Fachgebiete
3
Anmelder-Länder
Schwerpunkte