Parallele, Einzeln Adressierbare Sonden für die Nanolithographie
EP1410436
Art B1
22. Oktober 2008
Anmelder: BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1410436
- Aktenzeichen
- EP02795486
- Anmeldetag
- 26. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 22. Oktober 2008
- Erteilung
- 22. Oktober 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L21/66B81B7/04G03F7/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- BOARD OF TRUSTEES OF THE UNIVERSITY OF ILLINOIS
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Board of Trustees of the University of Illinois
Aufsichtsgremium der University of Illinois, USA, über das Patente aus der universitären Forschung verwaltet werden.
132 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Bösl, Raphael Konrad
Mannheim, Deutschland
893
Patente gesamt
27
Fachgebiete
21
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Smaggasgale, Gillian Helen
NoneLondon
-
Eyles, Christopher Thomas
NoneLondon