Keramikfilm und Herstellungsverfahren dafür sowie Ferroelektrischer Kondensator, Halbleitervorrichtung und Andere Elemente

EP1411028 Art A1 21. April 2004

Anmelder: Seiko Epson Corporation, SEIKO EPSON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP1411028
Aktenzeichen: EP02738689
Anmeldetag: 13. Juni 2002
Veröffentlichung: 21. April 2004
Rechtsraum: EP
IPC: C04B35/45C04B35/465C04B35/472C04B35/475C04B35/491C04B35/497C04B35/624C23C14/08C23C16/40C23C18/12H01L21/316H01L21/8246

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

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