Cantilever-Array, Verfahren zur Herstellung des Arrays sowie Rastersondenmikroskop, Gleitvorrichtung eines Führungs- und Rotationsmechanismus, Sensor, Homodyn-Laser-Interferometer und Laser-Dopplerinterferometer mit Funktion zur Lichtanregung der Probe unter Verwendung des Arrays und Cantilever

EP1411341 Art A1 21. April 2004

Anmelder: Japan Science and Technology Agency, JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1411341
Aktenzeichen
EP02736066
Anmeldetag
12. Juni 2002
Veröffentlichung
21. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
G01N13/16G12B21/08G12B21/02G12B21/22
Offizieller Volltext

Abstract

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Firmen
Japan Science and Technology Agency
JAPAN SCIENCE AND TECHNOLOGY CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Japan Science and Technology Agency

Japanische staatliche Förderorganisation für Wissenschaft und Technologie, die Forschungsprojekte finanziert und den Technologietransfer zwischen Universitäten und Industrie unterstützt. Die Behörde untersteht dem japanischen Bildungsministerium.

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