Prüfanordnung
EP1411363
Art A3
7. Dezember 2005
Anmelder: TOKYO ELECTRON LIMITED 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1411363
- Aktenzeichen
- EP03023313
- Anmeldetag
- 15. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 7. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01R31/28
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- TOKYO ELECTRON LIMITED
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Tokyo Electron
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.
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Fachgebiete
Vertreten von
Gleiss, Alf-Olav
Stuttgart, Deutschland
424
Patente gesamt
31
Fachgebiete
15
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Schwerpunkte