Optisches Element mit einem Lanthanfluoridfilm
EP1411375
Art A1
21. April 2004
Anmelder: NIKON CORPORATION, Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1411375
- Aktenzeichen
- EP02749312
- Anmeldetag
- 17. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 21. April 2004
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G02B1/10C23C14/06H01L21/027C03B29/12C01F17/00H01L21/68G03F7/20G02B1/11
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- NIKON CORPORATION
Nikon Corporation - Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
Wiebusch, Manfred
Bielefeld, Deutschland
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