Verfahren für durch einen fokussierten Elektronenstrahl induziertes Ätzen
EP1411538
Art B1
26. Januar 2011
Anmelder: Carl Zeiss SMS GmbH, NaWoTec GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1411538
- Aktenzeichen
- EP02023217
- Anmeldetag
- 16. Oktober 2002
- Veröffentlichung
- 26. Januar 2011
- Erteilung
- 26. Januar 2011
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/305H01J37/317
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Carl Zeiss SMS GmbH
NaWoTec GmbH - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Vertreten von
Borchert, Uwe Rudolf
München, Deutschland
298
Patente gesamt
32
Fachgebiete
20
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Borchert, Uwe Rudolf, Dipl.-Ing
NoneMünchen