Einrichtung zur Erzeugung von Plasmen durch Hochfrequenzentladungen

EP1411539 Art A3 19. November 2008

Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1411539
Aktenzeichen
EP03021701
Anmeldetag
25. September 2003
Veröffentlichung
19. November 2008
Rechtsraum
EP
IPC
H01J37/32
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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