Dampfaufwachsverfahren

EP1411545 Art B1 13. Oktober 2010

Anmelder: Shin-Etsu Handotai Co., Ltd., Shin-Etsu Handotai Co., Ltd 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1411545
Aktenzeichen
EP02741213
Anmeldetag
20. Juni 2002
Veröffentlichung
13. Oktober 2010
Erteilung
13. Oktober 2010
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/205C23C16/52C30B25/16C30B29/06
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd.
Shin-Etsu Handotai Co., Ltd
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Shin-Etsu Handotai

Japanisches Unternehmen der Shin-Etsu-Gruppe, das Siliziumwafer für die Halbleiterindustrie herstellt.

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