Verbesserung der Nickelsilizid-Siliziumnitrid-Adhäsion durch Oberflächenpassivierung

EP1411546 Art B1 12. September 2012

Anmelder: Texas Instruments Incorporated, TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1411546
Aktenzeichen
EP03103622
Anmeldetag
30. September 2003
Veröffentlichung
12. September 2012
Erteilung
12. September 2012
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/768H01L21/285H01L21/318
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Texas Instruments Incorporated
TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Texas Instruments

US-amerikanisches Halbleiterunternehmen mit Sitz in Dallas (Texas). Entwickelt und fertigt analoge und eingebettete Halbleiterprodukte, Prozessoren sowie Schaltkreise für Industrie, Automobil- und Konsumelektronik.

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