Verfahren zur Verringerung von Kohlenmonoxid Während der Wärme-/nass-Beseitigung von Organischen Verbindungen

EP1412053 Art A1 28. April 2004

Anmelder: Applied Materials, Inc., ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1412053
Aktenzeichen
EP02759110
Anmeldetag
3. Juli 2002
Veröffentlichung
28. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
B01D50/00B01D53/74B01D53/68
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Applied Materials, Inc.
ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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