Laser-Spektraltechnik für Lithographische Verfahren

EP1412182 Art A2 28. April 2004

Anmelder: Cymer, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP1412182
Aktenzeichen
EP02752300
Anmeldetag
11. Juli 2002
Veröffentlichung
28. April 2004
Rechtsraum
EP
IPC
H01S3/10H01S3/22H01S3/223H01S3/13H01S3/139
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Cymer, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente
Vertreten von
Grünecker, August, Dipl.-Ing München, Deutschland
229
Patente gesamt
31
Fachgebiete
14
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Halbleiter & Elektrische Bauelemente Medizintechnik & Gesundheit Nachrichtentechnik & Telekommunikation Software & Datenverarbeitung Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik
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