Smif-Behälter mit Elektrostatische Ladungen Ableitender Stützkonstruktion für Retikül
EP1412262
Art B1
21. Mai 2008
Anmelder: Entegris, Inc., ASYST TECHNOLOGIES, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1412262
- Aktenzeichen
- EP01984157
- Anmeldetag
- 10. Juli 2001
- Veröffentlichung
- 21. Mai 2008
- Erteilung
- 21. Mai 2008
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Entegris, Inc.
ASYST TECHNOLOGIES, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
899 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Dawson, Elizabeth Ann
London, Großbritannien
553
Patente gesamt
32
Fachgebiete
12
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Butcher, Ian James
NoneLondon