Integrierung von Fehlererkennung mit Run-To-Run Steuerung
EP1412827
Art B1
9. Mai 2007
Anmelder: Applied Materials, Inc., APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1412827
- Aktenzeichen
- EP02746974
- Anmeldetag
- 12. Juli 2002
- Veröffentlichung
- 9. Mai 2007
- Erteilung
- 9. Mai 2007
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G05B19/418H01L21/66
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Applied Materials, Inc.
APPLIED MATERIALS, INC. - Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Applied Materials
US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.
10.783 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Blatchford, William Michael
London, Großbritannien
143
Patente gesamt
21
Fachgebiete
13
Anmelder-Länder
Schwerpunkte