Mehrstufige Kolbenpumpe und Verfahren zu deren Betrieb
EP1413753
Art A3
28. Dezember 2005
Anmelder: Pfeiffer Vacuum GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP1413753
- Aktenzeichen
- EP03022066
- Anmeldetag
- 2. Oktober 2003
- Veröffentlichung
- 28. Dezember 2005
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04B37/14F04B25/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Pfeiffer Vacuum GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Pfeiffer Vacuum
Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.
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